2023-10-18半导体工艺(五) 沉积&离子注入工艺使半导体具有电特性
在比人类的“指甲盖”还小、像纸一样薄的半导 体芯片上,有着细小的、数以“百万计”的层 (layer)。就像高楼大厦一样高而坚固地堆叠起来, 构成复杂的结构。为了形成这种结构,在半导体原材料的单晶硅 (Si)晶圆上逐步涂上薄膜,通过绘制电路的光刻 工艺,反复进行有选择地去除不必要部分的蚀刻 ...
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在比人类的“指甲盖”还小、像纸一样薄的半导 体芯片上,有着细小的、数以“百万计”的层 (layer)。就像高楼大厦一样高而坚固地堆叠起来, 构成复杂的结构。为了形成这种结构,在半导体原材料的单晶硅 (Si)晶圆上逐步涂上薄膜,通过绘制电路的光刻 工艺,反复进行有选择地去除不必要部分的蚀刻 ...
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与铜版画刻蚀(Etching)技术相似的刻蚀工艺大家在学生时代的美术课上创作过的“版画”是一种通过在木材、金属或石材的表面上绘制形状,然后涂上墨水或颜料印在纸或布上的绘 画形式。刻蚀工艺与这种版画的刻蚀 (Etching)技术有着相似的原理。绘画中的刻蚀技术是指在銅板上涂抹防止酸产 生化学...
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光刻工艺类似于洗印黑白照片人们经常将 Photo Lithography(光刻)缩写成 Photo。得此名称的原因是,这个工艺在晶 圆上利用光线来照射带有电路图形的光罩,从而绘制电路。形成图形的方法类似于在洗印黑 白照片时,将在胶片上形成的图像印在相纸上。随着半导体集成度的提高,构成芯片的...
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晶圆的保护膜和绝缘膜是“氧化膜”(二氧化硅,SiO2)为了将从沙子中提取的硅作为半导体集成电路的原材 料,需要对其进行一系列的提纯,才可制造出称为锭(Ingot)的硅柱,然后将该硅柱切成均匀的厚度,经 过研磨后,制成半导体的基础——晶圆。这样所制成的薄而圆的晶圆是不导电的绝缘体,因此 有必...
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半导体集成电路和晶圆有何关系?半导体集成电路是将很多元件集成到一个芯片内, 以处理和储存各种功能的电子部件。由于半导体集 成电路是通过在晶圆的薄基板上制造多个相同电路而产生的,因此晶圆是半导体的基础,就像制作披 萨时添加配料之前先做面团一样。半导体集成电路是将许多元件集成到一个芯片中以 处...
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三星电子晶圆代工事业部在国际互连技术大会（IITC, International Interconnect Technology Conference）上发表了一篇主题为“EUV Minimum Pitch Single Patterning（EUV单图案最小节距）”的论文。我们为此特别准...
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